中(zhong)析(xi)研(yan)究所始終以(yi)科(ke)學研(yan)究為(wei)首任，以(yi)客(ke)(ke)戶為(wei)中(zhong)心，在嚴格的程序下開展檢(jian)測工作，為(wei)客(ke)(ke)戶提(ti)供產品檢(jian)測及質量控(kong)制的解決方案(an)，竭誠(cheng)為(wei)廣大(da)客(ke)(ke)戶提(ti)供正規(gui)科(ke)學的檢(jian)驗檢(jian)測、研(yan)發分析(xi)服務。7-15個工作日出具掩膜版(ban)設備(bei)檢(jian)測報告，報告支持(chi)掃碼查詢真(zhen)偽。

檢測項目

分辨率檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)、尺寸檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)、對(dui)準檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)、位置(zhi)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)、缺陷(xian)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)、光學(xue)(xue)性(xing)能檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)、電學(xue)(xue)性(xing)能檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)、耐久(jiu)性(xing)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)、化學(xue)(xue)性(xing)能檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)。

檢測范圍

掩(yan)膜(mo)刻蝕設(she)(she)(she)(she)備、掩(yan)膜(mo)對準設(she)(she)(she)(she)備、掩(yan)膜(mo)曝光(guang)設(she)(she)(she)(she)備、掩(yan)膜(mo)清(qing)洗設(she)(she)(she)(she)備、掩(yan)膜(mo)檢測設(she)(she)(she)(she)備、掩(yan)膜(mo)修復設(she)(she)(she)(she)備、掩(yan)膜(mo)貼合設(she)(she)(she)(she)備、掩(yan)膜(mo)測量設(she)(she)(she)(she)備。

相關標準

GB/T 40577-2021集(ji)成電路制造設備(bei)術語

SJ/T 11516-2015薄膜晶體管(guan)(TFT)用(yong)掩模版(ban)規(gui)范

檢測儀器

光(guang)(guang)學顯微鏡(jing)、掃描電(dian)(dian)子顯微鏡(jing)、光(guang)(guang)學對(dui)準(zhun)(zhun)儀(yi)、電(dian)(dian)子束對(dui)準(zhun)(zhun)儀(yi)、光(guang)(guang)學測(ce)量(liang)儀(yi)、電(dian)(dian)阻計、電(dian)(dian)容計、熱循(xun)環測(ce)試設(she)備(bei)、濕度測(ce)試設(she)備(bei)、化學溶(rong)液浸泡測(ce)試設(she)備(bei)。

檢測方法

尺(chi)寸測(ce)量(liang)(liang)：使用(yong)光學(xue)測(ce)量(liang)(liang)儀、掃(sao)描電子顯微鏡(jing)等設備(bei)對掩膜版的尺(chi)寸進行測(ce)量(liang)(liang)，以確(que)定其(qi)準確(que)性和一(yi)致性。

對準(zhun)(zhun)檢(jian)(jian)測(ce)：使用光學對準(zhun)(zhun)儀、電子束(shu)對準(zhun)(zhun)儀等設(she)備對掩膜版的位置(zhi)進行(xing)檢(jian)(jian)測(ce)和調整(zheng)，以確保其(qi)與其(qi)他(ta)組件的對準(zhun)(zhun)精(jing)度。

缺(que)(que)陷檢測：使用(yong)光學顯(xian)微(wei)(wei)鏡、掃描(miao)電子顯(xian)微(wei)(wei)鏡等(deng)設備對掩膜版進行缺(que)(que)陷檢測，如表面(mian)缺(que)(que)陷、裂紋(wen)、污染等(deng)。

光(guang)(guang)學(xue)(xue)性能檢測(ce)(ce)：使用光(guang)(guang)譜(pu)儀、光(guang)(guang)強測(ce)(ce)量儀等(deng)設(she)備對掩膜版的(de)光(guang)(guang)學(xue)(xue)性能進行檢測(ce)(ce)，如(ru)透(tou)射率、反射率等(deng)。

電(dian)(dian)(dian)(dian)學性能檢測(ce)：使(shi)用電(dian)(dian)(dian)(dian)阻計、電(dian)(dian)(dian)(dian)容計等設備對掩膜版(ban)的電(dian)(dian)(dian)(dian)學性能進(jin)行檢測(ce)，如(ru)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻值(zhi)、電(dian)(dian)(dian)(dian)容值(zhi)等。

耐久性(xing)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)：使用熱循環測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)設備、濕(shi)度(du)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)設備等對掩膜版進行耐久性(xing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)，以評估其在不同環境條(tiao)件下(xia)的穩定性(xing)和(he)壽命(ming)。

化學(xue)(xue)性能檢測：使用(yong)化學(xue)(xue)溶液浸泡測試設備等(deng)對掩膜版(ban)進行化學(xue)(xue)性能測試，以評估其(qi)對不同化學(xue)(xue)物質的耐(nai)受性和穩定(ding)性。

中析儀器 資質